真空鍍膜設備為了與大氣隔絕，對于真空室的各個部件的連接處、轉動軸、蓋、大門、觀察窗、電源、信號引入端等所有地方，都應設計有可靠的真空密封措施。

　　真空密封通常有可拆密封和不可拆密封（又稱永久性密封，包括一些封接、焊接等操作）的區別。而可拆密封就相對比較復雜一點，包括了靜密封與動密封兩大類形式。

　　一、靜密封

　　真空鍍膜室的靜密封是指連接件無法做相對運動的一種密封手段。如果只是在低真空和高真空的環境，那可拆靜密封的密封材料通常采用具有很大彈性的橡膠。如果是超高真空的環境要求，那么可拆靜密封將有所限制（如高溫烘烤溫度、材料出氣率等），所以一般用軟金屬做鍍膜真空室的密封材料。

　　常見的可拆靜密封材料有橡膠密封、金屬密封、氟塑料密封等，此外還包括一些真空法蘭、真空規管接頭等零部件。

　　二、動密封

　　鍍膜工藝可能需要將外部的物料傳遞到真空室中。對此，真空容器物料傳遞的運動形式一般可通過傳動軸的轉動、擺動以及往復直線運動等設計來實現。

　　最常見的動密封型式是傳遞平動和轉動的O形圈和填料密封，對于密封要求高的設備最好選用兩個O形圈來實現，因為這種密封方式可確保裝置軸中心準直程度。

　　1、傳遞軸轉動

　　這一類的動密封形式應用最廣的是威爾遜密封，其墊圈孔徑一般設計為軸直徑的0.65倍-0.8倍，再用金屬襯墊固定住墊片邊緣，橡膠墊孔扭曲變形使內緣貼緊軸，達到密封效果。該類型密封可用傳動軸直徑為1.5mm-70mm，但需要注意軸徑一旦超過20mm，在設計其結構時要知道壓力差的存在，不會把軸壓到真空室里面。傳遞軸轉動密封常用雙墊圈，再于雙墊圈間做抽空或注入真空潤滑油脂等措施，以達到真空室密封性能的改善效果。

　　2、傳動軸擺動

　　這一類動密封形式主要靠膜片的變形或金屬波紋管來實現傳遞軸的轉動或平移、擺動。該類型密封形式有密封可靠、耐高溫烘烤（因為材料多是耐高溫的 膜片或金屬波紋管）等優勢，但是又有價格高、壽命短、位移量小等缺陷。現在主要在超高真空設備中使用。

　　3、往復直線運動

　　這一類動密封裝置中的O形圈，不管是以外徑還是內徑作滑動密封，裝置壓縮率通常都取10%~12%之間。因為是在拉伸后安裝O形圈，所以斷面直徑縮小，導致實際壓縮量也對應縮小，實際壓縮率在拉伸后一般不會低于8%。

　　標簽：真空鍍膜電源