一、電控柜的操作

　　1、玻璃真空鍍膜機開水泵、氣源

　　2、開總電源

　　3、開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進入下一步操作。約需5分鐘。

　　4、開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計開關換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

　　5、觀察渦輪分子泵讀數到達250以后，關予抽，開前機和高閥繼續抽真空，抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。

　　二、DEF-6B電子槍電源柜的操作

　　1、總電源

　　2、真空鍍膜設備同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：汽車玻璃鍍膜按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關，延時、電源及保護燈亮，三分鐘后延時及保護燈滅，若后門未關好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。

　　3、開高壓，高壓會達到10KV以上，調節束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉電流在1~1.7之間擺動。

　　三、關機順序

　　1、關高真空表頭、關分子泵。

　　2、待分子泵顯示到50時，依次關高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。

　　3、到50以下時，再關維持泵。

　　鍍膜機常見故障及處理方法

　　檢測不到掩膜夾具翻轉信號：

　　1、檢查翻面信號源位置

　　2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機能檢測到信號時，證明問題在翻面控制開關上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路，然后更換控制卡。

　　掩膜夾具翻轉不穩定:

　　1、檢查翻板的初始位置是否符合時機

　　2、檢測翻面控制開關工作是否穩定，可用指針萬用表跟蹤監測。

　　3、檢查翻轉機構動作是否靈活可靠

　　4、檢查翻面信號次數設置

　　5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有磨擦現象

　　6、檢測旋轉工作臺在轉動時的穩定性

　　在同一掩膜夾具頻率散差大:

　　1. 檢查晶片本身是否散差大

　　2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調節修正板

　　3．檢查一下擋板在開、關時是否完全遮擋住鉬舟

　　4．檢查一下轟擊環是否完遮擋住鉬舟

　　5、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　鍋與鍋之間頻率散差大:

　　1、觀察一下監控片是否存在跳頻現象

　　2、反復測量統一監控片觀察振蕩器的穩定性（不超過75Hz）

　　3、檢查冷卻水是否通暢

　　4、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　5、監控片選用是否符合要求，建議采用我公司的監控片

　　鍍膜頻率不停止:

　　1、檢查頻率參數設置是否正確

　　2、鉬舟電流表是否有指示

　　3、鉬舟中是否有銀

　　4、監控片是否跳頻

　　5、修正系數是否錯誤

　　6、在出現非正常退后是否更換過監控片

　　測試不到頻率:

　　1、更換一下監控片

　　2、檢查一下測試彈片是否變形

　　3、用一只5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測量頻率，若有頻率證明是探頭問題，若無頻率，用計數器測量一下振蕩器輸出頻率是否異常，無正常輸出證明振蕩器有問題，有正常輸出但計算機無顯示證明控制卡有問題

　　控制閥均不動作:

　　1. 檢查5V電源是否有輸出，是否接好

　　2. 檢查固態繼電器板上電源公共端是否有電

　　控制閥個別不動作

　　1、檢查相應的固態繼電器是否有輸出

　　未達到真空度就工作:

　　1、數字真空計出現不正常數字，且30秒內無變化，例如0.00-4（國產真空計常見）現象

　　2、指針表在真空計打開30秒后，黑色指針仍不擺動

　　監控片使用原則

　　1、監控片表面要清洗干凈

　　2、監控片要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時以上禁止使用

　　3、監控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用

　　4、使用過程中要記錄好使用批次，嚴禁出現新舊混用

　　5、監控片反復使用壽命為3次。

標簽：真空鍍膜電源