主要用途：
　　雙極脈沖磁控濺射電源用于中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料，特別適合于反應磁控濺射。能增加離化率，減少電荷積累引起的異常放電，預防靶表面中毒現象。
　　主要特點：
　　采用先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，同時提高了抑制打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
　　具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統的恒流模式，更能保證鍍膜工藝的重復性。
　　具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
　　主要參數可大范圍調節
　　可選擇手動控制/模擬量接口控制，可選配RS485通訊接口。
　　標簽：中頻磁控濺射電源